- Auflösungsleistung
- f <opt> ■ resolution performance
German-english technical dictionary. 2013.
Auflösungsleistung
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Immersionslithografie — Bei der Immersionlithographie, durchquert das Licht von oben ein System von Linsen (1.) und einen dünnen Flüssigkeitsfilm (2.; im Beispiel Wasser) bevor es den Fotolack auf der Oberseite des Wafers (3.) erreicht. Die Immersionslithografie ist… … Deutsch Wikipedia
